ImageXpert一直致力于测量我们印刷系统的可重复性,因为对高精度承印物处理和印刷的需求正在增长。我们很自豪地说,我们的最新结果显示<1.5 μ m阶段可重复性(3σ),我们已经证明了1.5 μ m打印可重复性使用我们的墨水和波形。我们一直优先考虑仪器的质量和精度,我们很高兴有新的数据来证明这一点。

阶段重复性测试方法
标定目标网格被固定在台阶上,其上方有一个高分辨率摄像机,聚焦在网格的交叉点上。在移动阶段之前,确定在固定目标上的XY坐标测量的重复性小于100nm。然后在工艺方向上移动阶段,然后返回到原始位置,两个阶段都以100 mm/s的速度移动。利用ImageXpert机器视觉软件采集图像,测量交点位置的XY坐标。重复这些步骤以收集大样本,并计算工艺轴相交位置的标准差。然后以跨过程方向重复整个过程,并计算交点位置的标准差。结果表明,工艺轴的阶段重复性为±1.0µm (3σ),跨工艺轴的阶段重复性为±1.5µm (3σ)。

打印重复性测试方法
该测试使用了相同的高分辨率摄像机设置,以及Dimatix Starfire SG1024MA打印头和GIS驱动电子设备。以100mm/s的速度打印单个网点的图像,并将工作台返回到起始位置。然后将点的命令位置(GIS专家的PhysicalPrePrintBufferLength)增加200µm,再次打印点。这些步骤重复了五次,以产生一条由六个点组成的线,理想情况下,这些点以200um的等距共线。使用高分辨率相机测量实际网点定位。重复这些步骤以收集大样本,并报告网点间距的标准偏差。
结果显示< 1.5µm的打印重复性,包括液滴放置,驱动电子信号处理和运动阶段运动的所有变化。
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